無(wú)塵無(wú)氧化烤箱是半導(dǎo)體制造、精密電子、光伏產(chǎn)業(yè)、新材料研發(fā)等領(lǐng)域中的熱處理設(shè)備，專(zhuān)為對(duì)潔凈度與氣氛純度要求高的工藝而設(shè)計(jì)。無(wú)塵無(wú)氧化烤箱通過(guò)多重技術(shù)手段，實(shí)現(xiàn)超凈環(huán)境、無(wú)氧氛圍與精準(zhǔn)溫控，廣泛應(yīng)用于晶圓烘烤、光刻膠固化、薄膜退火、陶瓷燒結(jié)等關(guān)鍵工序。